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可实现快速稳定抛光的抛光液开发

截止时间: 2021-10-16 行业分类: 新型材料 发布时间:2020/10/15 9:59:16 投入预算:0万元 联系人:乔总 广东 深圳
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需求简介

我司拟开发一种快速稳定抛光的抛光液。具体涉及硅衬底材料化学机械抛光液,可实现单晶硅快速稳定抛光,在不影响应力层和表面粗糙度的前提下提高硅衬底抛光去除速率,主要用于半导体行业,现希望与高校合作开发,攻关技术难题。

相关需求信息

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